2009 Sidrabe PECVD rol-naar-rol vacuümdeponeringslijn

Type D1340, Roll-to-Roll bovenste cel depositielijn, bestaande uit onder andere: (grondvloer) 11x "Trumpf" RF-generator TruPlasma RF-serie type 3000 G2 (2022), 5x "Edwards" vacuüm - boostercombinatie Drystar vacuümpomp type GV250 -" type EH2600IND Booster 380 (2008), 2x "Druschke" vacuümpomp - boostercombinatie vacuümpomp type A70561900 - "Druschke" booster type A307-51-935, 4x "Enkele" hogetemperatuurregelunit type STO 1-9-42, koelsysteem met 2 x "Grundfos" pomp type DE7309BE, UV-licht, drukvat, "Alfa Laval" plaatwarmtewisselaar, 1 intrekbaar zijpaneel. Op de eerste verdieping bestaat uit: 7x waterspruitstuk, 10x 2-deurs elektrische schakelkast, 1x 1-deurs elektrische schakelkast, 2x "Edwards" booster type EH4200 IND, diverse messuringapparatuur. Op de tweede verdieping bestaat het uit: 1x drukventielkast, 4x "Enkele" hogetemperatuurregelaar type STO-1-48-100-D4 (2008), 4x 1-deurs spruitstukkast, 1x 1-deurs elektrische schakelkast, gecombineerde leidingen en stalen constructie met platforms en trap, gebruikte vloeroppervlakte ongeveer 20.000x13.500mm.