RTP ANNEALSYS - 2017 - AS-Micro - Cuptor

Setat cu pompă +
calculator
Caracteristici Cuptorul oferă cea mai mare rată de creștere a temperaturii, până la 250 °C/s pentru plachete de 2 inch.
Interval de temperatură: temperatura ambientală până la 1.250 °
C Rata de creștere a temperaturii de până la 250 °C/s pe un substrat de siliciu cu diametrul de 2 inch, 200 °C/s pe 3 inch.
Capacitate de amestecare a gazelor cu controlere de debit de masă.
Interval de vid: de la atmosferă până la 10-2 Torr (10-6 Torr cu pompă turbo opțională).
Controlul temperaturii cu termocuplu și controler digital rapid de temperatură PID.
Control complet pe PC cu software compatibil cu Windows.