PLASSYS - 2006 - CVD500 - Sistem complet de depunere în vid/CVD

Echipamentul include un sistem complet de vid/CVD cu electronica sa de control, componente de vid, pompe de vid înalt, surse de alimentare RF, actuatoare și senzori. Șasiul, fabricat inițial în 1998, a suferit o modernizare majoră în 2011 cu componente mai noi. Sistemul este vândut așa cum este, pentru piese sau pentru reparație. Sistemul nu era complet conectat și nu avea parolă, ceea ce împiedică testarea suplimentară.

Sistemul este compus din următoarele componente principale:

Vacuum și componente de pompare
Turbopompă ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M
2 aspiratoare Leybold CTR 90 CERAVAC
PFEIFFER IKR
251 Ecartament Compact pentru Foc Rece Supapa cu unghi de vid TVA 26432-KA41-0001/0319

Supapă de vid suplimentară de TVA de dimensiuni mari Un set mare de
supape de vid înalt Sistem de acționare: Actuator liniar THC-8AWDS (cursă de 400mm)
Diverși senzori, inclusiv presiune, temperatură și comutare
Diverse actuatoare, inclusiv supape solenoide și
elemente de încălzire Cadru CVD (original SP-500, modificat în 2011)
Dulap de control al debitului de masă (inclus)

Putere și
putere RF Amplificator RF Dressler – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W, 13,56 MHz
Unitatea RFPP RF10S
Advanced Energy MDX 500 (Nefuncțional – nu pornește)
Putere RF AM-5 7600001010, 500 W, 13,56 MHz


Sursa de alimentare TDK Lambda GEN40-125 Unitate de control și electronică
CONTROLER ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ACT 1300M
Controler de supapă de evacuare MKS Tip 252C-1-VPO
Controler automat de presiune MKS Tip 152
Controler automat de presiune MKS Type 600
MKS Tip 2708
PC rackmount de 19" (fără parolă pentru software de control) Palletizarea și încărcarea vor fi făcute de cumpărător la fața locului