RTP ANNEALSYS - 2017 - AS-Micro - Piekarnik

Zestaw z pompą +
komputerem Funkcje
piekarnik oferuje najwyższą szybkość wzrostu temperatury, do 250 °C/s dla wafli o średnicy 2 cali.
Zakres temperatur: temperatura otoczenia do 1 250 °C
, tempo wzrostu temperatury do 250 °C/s na podłożu krzemowym o średnicy 2 cali, 200 °C/s na 3 calach.
Możliwość mieszania gazów z regulatorami przepływu masowego.
Zakres podciśnienia: od atmosfery do 10-2 Torr (10-6 Torr z opcjonalną pompą turbo).
Termoparowa regulacja temperatury z szybkim cyfrowym regulatorem temperatury PID.
Pełna kontrola komputera za pomocą oprogramowania kompatybilnego z Windows.