Von Ardenne - MSC1300 - Macchina per la produzione di celle solari - 2008

Linea di sputter a magnetron DC multicamera progettata per la deposizione di film sottile roll-to-roll, composta da: 6x camera di processo magnetron DC tipo RDM 1800 L (2009), 2x camera intermedia, 1x camera di raffreddamento, 1x camera di riavvolgimento, 1 sala di riavvolgimento, 21x pompa turbomolecolare "Pfeiffer" tipo HiPace 2300 U (2009), in parte con controller integrato tipo TC 1200, 2x unità di controllo della temperatura "Single" (2009), 6x generatore HF "Trumpf" tipo TruPlasma DC 3040, 1x cabina di interruttore di alimentazione principale, 2x scambiatore di calore tipo "Seifert" RK-2114 AM (2009), 1x unità di raffreddamento "Carrier" (esterna) tipo 3ORBO0342 R14A (2009), 2x unità vacuum "Leybold" SV630 B (2009) e 1x unità vacuum "Leybold" tipo D40 B e 1x tipo SV630 B (2009) in involucri insonorizzati, vari elementi di trasporto utilitari, Superficie utilizzata circa 27,500x12,500mm