Von Ardenne - MSC1300 - Solarcel-Produktionsmaschine - 2008

Mehrkammer-DC-Magnetron-Sputterlinie für Roll-zu-Roll-Dünnfilmabscheidung, bestehend aus: 6x DC-Magnetron-Prozesskammer RDM 1800 L (2009), 2x Zwischenkammer, 1x Kühlkammer, 1x Rückspulkammer, 1 Abwickelraum, 21x "Pfeiffer" Turbomolekularpumpe HiPace 2300 U (2009), teilweise mit eingebautem Regler TC 1200, 2x "Single" Temperaturregelung (2009), 6x "Trumpf" HF-Generator TruPlasma DC 3040, 1x Hauptstromschaltschrank, 2x "Seifert" Wärmetauscher Typ RK-2114 AM (2009), 1x "Carrier"-Kühlanlage (außen) Typ 3ORBO0342 Kältemittel R14A (2009), 2x "Leybold" Vakuumeinheit SV630 B (2009) und 1x "Leybold" Vakuumeinheit Typ D40 B und 1x SV630 B (2009) in schalldichten Gehäusen, verschiedene Transportgeräte, Verwendete Bodenfläche etwa 27,500x12,500 mm