2009 Sidrabe PECVD Roll-to-Roll Vakuumabscheidungslinie

Typ D1340, Roll-to-Roll-Top-Cel-Depositionslinie, bestehend aus unter anderem: (Erdgeschoss) 11x "Trumpf" RF-Generator TruPlasma RF-Serie Typ 3000 G2 (2022), 5x "Edwards" Vakuum – Booster-Kombination Drystar-Vakuumpumpe Typ GV250 -" Typ EH2600IND Booster 380 (2008), 2x "Druschke"-Vakuum – Booster-Kombination Vakuumpumpe Typ A70561900 - "Druschke" Booster Typ A307-51-935, 4x "Single" Hochtemperaturregelungseinheit STO 1-9-42, Kühlsystem mit 2x "Grundfos"-Pumpe vom Typ DE7309BE, UV-Licht, Druckbehälter, "Alfa Laval"-Platten-Wärmetauscher und 1x einziehbarer Seitenwand. Im Erdgeschoss bestehend aus: 7x Wasserkrümmer, 10x 2-türiger elektrischer Schaltschrank, 1x 1-türiger elektrischer Schaltschrank, 2x "Edwards"-Verstärker EH4200 IND sowie verschiedenen Messgeräten. Im zweiten Stock, bestehend aus: 1x Druckventil-Schrank, 4x "Single" Hochtemperaturregelungseinheit STO-1-48-100-D4 (2008), 4x 1-türiger Ventil-Saugkrümmerschrank, 1x 1-türiger elektrischer Schaltschrank, kombinierte Rohrleitung und Stahlkonstruktion mit Plattformen und Treppe, wurde eine Bodenfläche von etwa 20.000x13.500 mm genutzt.